Browsing by Subject пластины монокристаллического кремния
Showing results 1 to 3 of 3
Issue Date | Title | Author(s) |
2013 | Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии | Францкевич, Н. В.; Францкевич, А. В.; Федотов, А. К.; Мазаник, А. В. |
2021 | Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr | Барайшук, С. М.; Вертель, М.; Будзинский, М.; Бобрович, Олег Георгиевич; Михалкович, О. М. |
2021 | Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния | Локун, Р. А.; Мурашкевич, Анна Николаевна |