Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.belstu.by/handle/123456789/12187
Title: Влияние параметров осаждения на толщину модифицированного слоя при динамическом атомном перемешивании Pd/Fe-структур
Authors: Тульев, Валентин Валентинович
Ташлыков, Игорь Серафимович
Литвинов, Дмитрий Анатольевич
Keywords: динамическое атомное перемешивание
железо
осаждение покрытий
резерфордовское обратное рассеяние
палладиевые покрытия
Issue Date: 2014
Publisher: БГТУ
Citation: Тульев, В. В. Влияние параметров осаждения на толщину модифицированного слоя при динамическом атомном перемешивании Pd/Fe-структур / В. В. Тульев, И. С. Ташлыков, Д. А. Литвинов // Труды БГТУ. - Минск : БГТУ, 2014. - № 6 (170). - С. 77-79.
Description: Методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием определено, что при осаждении Pd-покрытия на железо методом динамического атомного перемешивания, в котором в качестве ассистирующих ионов использовались ионы Аr+ с энергией 6 кэВ, и интегральными потоками (0,7?1,6)?1016 ион/cм2 формируется Pd-пленка толщиной ?(14?23) нм. Установлено, что толщина сформированного покрытия зависит от параметра I / A (отношение числа I ассистирующих ионов к числу A атомов осаждаемого покрытия). При расчете толщины пленки необходимо учитывать помимо распыления ассистирующими ионами атомов покрытия также распыление атомов подложки.
URI: http://elib.belstu.by/handle/123456789/12187
Appears in Collections:2014, № 6

Files in This Item:
File SizeFormat 
14.pdf600.84 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.