Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/12187
Название: | Влияние параметров осаждения на толщину модифицированного слоя при динамическом атомном перемешивании Pd/Fe-структур |
Авторы: | Тульев, Валентин Валентинович Ташлыков, Игорь Серафимович Литвинов, Дмитрий Анатольевич |
Ключевые слова: | динамическое атомное перемешивание железо осаждение покрытий резерфордовское обратное рассеяние палладиевые покрытия |
Дата публикации: | 2014 |
Издательство: | БГТУ |
Библиографическое описание: | Тульев, В. В. Влияние параметров осаждения на толщину модифицированного слоя при динамическом атомном перемешивании Pd/Fe-структур / В. В. Тульев, И. С. Ташлыков, Д. А. Литвинов // Труды БГТУ. - Минск : БГТУ, 2014. - № 6 (170). - С. 77-79. |
Краткий осмотр (реферат): | Методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием определено, что при осаждении Pd-покрытия на железо методом динамического атомного перемешивания, в котором в качестве ассистирующих ионов использовались ионы Аr+ с энергией 6 кэВ, и интегральными потоками (0,7?1,6)?1016 ион/cм2 формируется Pd-пленка толщиной ?(14?23) нм. Установлено, что толщина сформированного покрытия зависит от параметра I / A (отношение числа I ассистирующих ионов к числу A атомов осаждаемого покрытия). При расчете толщины пленки необходимо учитывать помимо распыления ассистирующими ионами атомов покрытия также распыление атомов подложки. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/12187 |
Располагается в коллекциях: | 2014, № 6 |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
14.pdf | 600.84 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.