Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/12187
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Тульев, Валентин Валентинович | ru |
dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | ru |
dc.contributor.author | Литвинов, Дмитрий Анатольевич | ru |
dc.date.accessioned | 2017-03-10T07:59:38Z | - |
dc.date.available | 2017-03-10T07:59:38Z | - |
dc.date.issued | 2014 | - |
dc.identifier.citation | Тульев, В. В. Влияние параметров осаждения на толщину модифицированного слоя при динамическом атомном перемешивании Pd/Fe-структур / В. В. Тульев, И. С. Ташлыков, Д. А. Литвинов // Труды БГТУ. - Минск : БГТУ, 2014. - № 6 (170). - С. 77-79. | - |
dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/12187 | - |
dc.description.abstract | Методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием определено, что при осаждении Pd-покрытия на железо методом динамического атомного перемешивания, в котором в качестве ассистирующих ионов использовались ионы Аr+ с энергией 6 кэВ, и интегральными потоками (0,7?1,6)?1016 ион/cм2 формируется Pd-пленка толщиной ?(14?23) нм. Установлено, что толщина сформированного покрытия зависит от параметра I / A (отношение числа I ассистирующих ионов к числу A атомов осаждаемого покрытия). При расчете толщины пленки необходимо учитывать помимо распыления ассистирующими ионами атомов покрытия также распыление атомов подложки. | ru |
dc.format.mimetype | application/pdf | en |
dc.language.iso | ru | en |
dc.publisher | БГТУ | ru |
dc.subject | динамическое атомное перемешивание | ru |
dc.subject | железо | ru |
dc.subject | осаждение покрытий | ru |
dc.subject | резерфордовское обратное рассеяние | ru |
dc.subject | палладиевые покрытия | ru |
dc.title | Влияние параметров осаждения на толщину модифицированного слоя при динамическом атомном перемешивании Pd/Fe-структур | ru |
dc.type | Article | en |
dc.identifier.udc | 539.1.06:539.23.234 | - |
Appears in Collections: | 2014, № 6 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.