Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/15449| Title: | Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si структур |
| Authors: | Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, И. С. Тульев, Валентин Валентинович |
| Keywords: | ионно-ассистируемое осаждение металлические покрытия покрытия металлические |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Бобрович, О. Г. Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si структур / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков, В. В. Тульев // Физико-математические науки : тезисы докладов 78-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 3-13 февраля 2014 г. / Белорусский государственный технологический университет. - Минск : БГТУ, 2014. - С. 19. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/15449 |
| Appears in Collections: | Физико-математические науки |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Bobrovich_19.pdf | 83.7 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.