Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.belstu.by/handle/123456789/15449
Title: Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si структур
Authors: Бобрович, Олег Георгиевич
Ташлыков, И. С.
Тульев, Валентин Валентинович
Keywords: ионно-ассистируемое осаждение
металлические покрытия
покрытия металлические
Issue Date: 2014
Publisher: БГТУ
Citation: Бобрович, О. Г. Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si структур / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков, В. В. Тульев // Физико-математические науки : тезисы докладов 78-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 3-13 февраля 2014 г. / Белорусский государственный технологический университет. - Минск : БГТУ, 2014. - С. 19.
URI: http://elib.belstu.by/handle/123456789/15449
Appears in Collections:Физико-математические науки

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Bobrovich_19.pdf83.7 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.