Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.belstu.by/handle/123456789/17827
Title: Исследование свойств ионноимплантированных фоторезистов методом ЭПР
Authors: Волобуев, Влас Сергеевич
Keywords: ионная имплантация
ионноимплантированные фоторезисты
Issue Date: 2016
Publisher: БГТУ
Citation: Волобуев, В. С. Исследование свойств ионноимплантированных фоторезистов методом ЭПР / В. С. Волобуев // Технология органических веществ : тезисы докладов 80-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 1-12 февраля 2016 г. / Белорусский государственный технологический университет ; [гл. ред. И. М. Жарский]. - Минск : БГТУ, 2016. - С. 61.
URI: http://elib.belstu.by/handle/123456789/17827
Appears in Collections:Технология органических веществ



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.