Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/17827| Title: | Исследование свойств ионноимплантированных фоторезистов методом ЭПР |
| Authors: | Волобуев, Влас Сергеевич |
| Keywords: | ионная имплантация ионноимплантированные фоторезисты |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Волобуев, В. С. Исследование свойств ионноимплантированных фоторезистов методом ЭПР / В. С. Волобуев // Технология органических веществ : тезисы докладов 80-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 1-12 февраля 2016 г. / Белорусский государственный технологический университет ; [гл. ред. И. М. Жарский]. - Минск : БГТУ, 2016. - С. 61. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/17827 |
| Appears in Collections: | Технология органических веществ |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| issledovanie-svoistv-ionnoimplantirovannyx-fotorezistov-metodom-ehpr-volobuev-v.-s..pdf | 66.46 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.