Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/17827| Название: | Исследование свойств ионноимплантированных фоторезистов методом ЭПР |
| Авторы: | Волобуев, Влас Сергеевич |
| Ключевые слова: | ионная имплантация ионноимплантированные фоторезисты |
| Дата публикации: | 2016 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Волобуев, В. С. Исследование свойств ионноимплантированных фоторезистов методом ЭПР / В. С. Волобуев // Технология органических веществ : тезисы докладов 80-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 1-12 февраля 2016 г. / Белорусский государственный технологический университет ; [гл. ред. И. М. Жарский]. - Минск : БГТУ, 2016. - С. 61. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/17827 |
| Располагается в коллекциях: | Технология органических веществ |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| issledovanie-svoistv-ionnoimplantirovannyx-fotorezistov-metodom-ehpr-volobuev-v.-s..pdf | 66.46 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.