Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.belstu.by/handle/123456789/20109
Title: Формирование покрытия на кремнии нанесением Cr в условиях ионного ассистирования
Authors: Бобрович, Олег Георгиевич
Ташлыков, Игорь Серафимович
Keywords: Cr-покрытия
кремний
элементный состав
ионное ассистирование
металлические покрытия
Issue Date: 2016
Publisher: БГТУ
Citation: Бобрович, О. Г. Формирование покрытия на кремнии нанесением Cr в условиях ионного ассистирования / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков // Труды БГТУ. - Минск : БГТУ, 2016. - № 6 (188) 2016 год. - С. 91-95
Description: В представленной работе мы исследовали состав и распределение элементов в покрытии, нанесенном на пластины (100) Si в условиях ионного ассистирования при комнатной температу-ре, а также химические связи элементов в поверхностном слое кристаллов кремния при нанесе-нии Cr-покрытия. Элементный состав покрытия и распределение элементов по глубине изучали с применением резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и вторичной ионной масс-спектрометрии.
URI: http://elib.belstu.by/handle/123456789/20109
Appears in Collections:2016, № 6



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.