Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/20109| Название: | Формирование покрытия на кремнии нанесением Cr в условиях ионного ассистирования |
| Авторы: | Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, Игорь Серафимович |
| Ключевые слова: | Cr-покрытия кремний элементный состав ионное ассистирование металлические покрытия |
| Дата публикации: | 2016 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Бобрович, О. Г. Формирование покрытия на кремнии нанесением Cr в условиях ионного ассистирования / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков // Труды БГТУ. - Минск : БГТУ, 2016. - № 6 (188) 2016 год. - С. 91-95 |
| Краткий осмотр (реферат): | В представленной работе мы исследовали состав и распределение элементов в покрытии, нанесенном на пластины (100) Si в условиях ионного ассистирования при комнатной температу-ре, а также химические связи элементов в поверхностном слое кристаллов кремния при нанесе-нии Cr-покрытия. Элементный состав покрытия и распределение элементов по глубине изучали с применением резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и вторичной ионной масс-спектрометрии. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/20109 |
| Располагается в коллекциях: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2016 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| formirovanie-pokrytiya-na-kremnii-naneseniem-cr-v-usloviyax-ionnogo-assistirovaniya-bobrovich-o.-g.-tashlykov-i.-s..pdf | 676.35 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.