Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/23647| Title: | Состав и распределение элементов по глубине в покрытиях, полученных ионно-ассистируемым осаждением титана и кремния на сталь марки 40Х |
| Keywords: | ионно-ассистируемое осаждение нанесение покрытий стали бериллий кремний титан тонкие пленки |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Тульев, В. В. Состав и распределение элементов по глубине в покрытиях, полученных ионно-ассистируемым осаждением титана и кремния на сталь марки 40Х / В. В. Тульев, И. С. Ташлыков // Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2017. - № 2 (200). - С. 66-70 |
| Abstract: | На подложки из стали марки 40Х наносились тонкие пленки на основе титана и титана с кремнием методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Элементный состав и распределение элементов по глубине в сформированных на стали и бериллии покрытиях изучались методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием, методом резонансных ядерных реакций и методом резонансного упругого рассеяния ионов гелия. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/23647 |
| Appears in Collections: | выпуск журнала постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Tul'ev_Sostav.pdf | 344.14 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.