Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.belstu.by/handle/123456789/3216
Title: Элементный состав и распределение компонентов по глубине в структурах Pd/Fe, полученных методом динамического атомного перемешивания
Authors: Тульев, Валентин Валентинович
Ташлыков, Игорь Серафимович
Литвинов, Д. А.
Keywords: динамическое атомное перемешивание
осаждение покрытий
палладий
железо
палладиевые покрытия
ионно-лучевое модифицирование
Issue Date: 2012
Publisher: БГТУ
Citation: Тульев, В. В. Элементный состав и распределение компонентов по глубине в структурах Pd/Fe, полученных методом динамического атомного перемешивания / В. В. Тульев, И. С. Ташлыков, Д. А. Литвинов // Труды БГТУ. - Минск : БГТУ, 2012. - № 6 (153) 2012 год. - С. 81-84
Description: С помощью резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием был проведен анализ элементного состава структур Pd/Fe, полученных осаждением атомов палладия на подложку из железа методом динамического атомного перемешивания. В качестве ассистирующих ионов использовались ионы аргона с энергией 6 кэВ. Плотность ионного тока составляла ?9–20 мкА/см2, интегральный поток ионов аргона был (0,7– 1,6) ? 1016 ион/см2. Проведенное исследование позволило установить, что создаваемые структуры помимо атомов железа содержат ?30–47 ат. % атомов палладия и ?0,5–1,2 ат. % атомов аргона. При этом наблюдается проникновение атомов железа в пленку палладия вследствие атомного перемешивания, проникновение атомов палладия в железо вследствие радиационно-стимулированной диффузии, а также распыление пленки палладия.
URI: http://elib.belstu.by/handle/123456789/3216
Appears in Collections:2012, № 6



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.