Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/56187| Title: | Особенности получения пленок оксидов Мо методом «напыление – окисление» или химическим наслаиванием |
| Authors: | Спицкий, С. И. Шелемет, К. Ю. Коваль, К. С. Богомазова, Наталья Валентиновна |
| Keywords: | молибден оксиды молибдена оксидные пленки метод "напыление - окисление" химическое наслаивание пленки оксидов молибдена ионно-плазменное напыление |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Особенности получения пленок оксидов Мо методом «напыление – окисление» или химическим наслаиванием / С. И. Спицкий [и др.] // Инновационные материалы и технологии - 2023 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 21-23 марта 2023 г. - Минск : БГТУ, 2023. – С. 199-203. |
| Abstract: | Рассмотрены результаты исследований, которые свидетельствуют о том, что для получения пленок оксида молибдена со стехиометрией, близкой к МоО[3] и прозрачностью в видимом диапазоне около 50 % может быть использован либо метод НО при толщине напыляемого металла 100 нм и температуре его окисления 450°С, либо доступный метод ХН с перекисной обработкой при количестве циклов наслаивания 10 и температуре отжига 200°С. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/56187 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Спицкий_Особенности.pdf | 318.54 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.