Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/60069
Title: Влияние анодной обработки n-кремниевых подложек на условия получения свободных никелевых пленок
Authors: Курмашев, Виктор Иванович
Патрин, А. А.
Дубин, В. М.
Суслов, В. А.
Keywords: никелевые пленки
n-кремниевые подложки
свободные никелевые пленки
кремний
анодная обработка
кремниевые подложки
Issue Date: 1985
Citation: Влияние анодной обработки n-кремниевых подложек на условия получения свободных никелевых пленок / В. И. Курмашев [и др.] // Химия и химическая технология : республиканский межведомственный сборник. – Минск : Университетское, 1985. – Вып. 20. – С. 29-33.
Abstract: Исследованы условия получения свободных никелевых пленок на подложках из пористого кремния. Установлено, что анодная обработка кремниевых подложек в водном растворе HF приводит к увеличению их адгезионной способности и снижению высоты поверхностного потенциального барьера в кремнии.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/60069
Appears in Collections:Химия и химическая технология : межведомственный сборник. Вып. 20 / Белорусский технологический институт им. С. М. Кирова. - Минск : Университетское, 1985. - 117 с.

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Курмашев_Влияние.pdf2.86 MBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.