Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.belstu.by/handle/123456789/64103
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorДолгий, В. К.-
dc.contributor.authorВолобуев, Влас Сергеевич-
dc.contributor.authorПочтенный, Артем Евгеньевич-
dc.date.accessioned2024-04-03T09:49:06Z-
dc.date.available2024-04-03T09:49:06Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationДолгий, В. К. Роль адсорбированного кислорода на электрофизические свойства тонких пленок наноструктурированного оксида индия / В. К. Долгий, В. С. Волобуев, А. Е. Почтенный // Актуальные проблемы физики твердого тела: сборник докладов X Междунар. науч. конф., Минск, 22–26 мая 2023 / НПЦ НАН Беларуси по материаловедению. – Минск : А. Н. Вараксин, 2023. – С. 654-657ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/64103-
dc.description.abstractИсследованы электрофизические свойства тонких пленок наноструктурированного оксида индия. Структура и химический состав пленок изучались методами электронной дифракции, сканирующей электронной микроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Температурная зависимость проводимости пленок оксида индия измерялась при постоянной концентрации кислорода методом циклической термодесорбции. На основе результатов исследования предложен механизм проводимости. Результаты могут быть использованы в микроэлектронных датчикахru
dc.format.mimetypeapplication/pdfru
dc.language.isoruru
dc.subjectсенсорыru
dc.subjectмеханизм проводимостиru
dc.subjectтермодесорбцияru
dc.subjectтонкая пленкаru
dc.subjectадсорбированный кислородru
dc.subjectнаноструктурированный оксид индияru
dc.titleРоль адсорбированного кислорода на электрофизические свойства тонких пленок наноструктурированного оксида индияru
dc.typeArticleru
Располагается в коллекциях:Статьи в республиканских изданиях

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Долгий.pdf1.01 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.