Browsing by Subject магнетронные распылительные системы
Showing results 1 to 1 of 1
Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2020 | Модернизация магнетронной распылительной системы для увеличения чистоты наноразмерных покрытий | Сотников, Д. А.; Галаганова, Е. Н.; Мезенцев, Д. О.; Якупов, Э. С. |