Browsing by Subject магнетронное распыление
Showing results 1 to 9 of 9
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 1999 | Воздействие примесей донорно-акцепторных газов к воздуху на проводимость тонких пленок на основе диоксида олова | Шишкин, Николай Яковлевич; Курбачев, О. И.; Чеботарь, Оксана Адамовна; Черкасов, Вадим Анатольевич; Башкиров, Леонид Андреевич; Жарский, Иван Михайлович |
| 2021 | Метод магнетронного распыления для чувствительных элементов газоанализаторов | Олиферович, Надежда Михайловна; Анкуда, Максим Анатольевич; Карпович, Дмитрий Семенович |
| 2001 | Окисление тонких пленок вольфрама, меди, олова на воздухе | Шишкин, Николай Яковлевич; Башкиров, Леонид Андреевич; Жарский, Иван Михайлович; Черкасов, Вадим Анатольевич; Косов, Д. В.; Чеботарь, Оесана Адамовна |
| 1996 | Особенности электрофизических параметров допированных пленок оксида олова, полученных магнетронным распылением | Вашина, В. Г.; Жарский, Иван Михайлович; Зарапин, Виталий Георгиевич; Лугин, Валерий Геннадьевич; Шишкин, Николай Яковлевич |
| 2020 | Получение пленок нитрида титана методом магнетронного распыления | Сотников, Д. А.; Глушко, В. В.; Мезенцев, Д. О.; Якупов, Э. С. |
| 2001 | Получение тонких пленок на основе оксида вольфрама и ислледование возможности их использования в качестве чувствительных слоев в газовых сенсорах | Шишкин, Николай Яковлевич; Косов, Д. В.; Черкасов, Вадим Анатольевич; Шафранский, С. Н.; Жарский, Иван Михайлович |
| 1999 | Сенсорные и структурные свойства тонких пленок оксида олова, полученных магнетронным распылением | Лугин, Валерий Геннадьевич; Зарапин, Виталий Георгиевич; Жарский, Иван Михайлович |
| 2022 | Формирование пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени | Нестерчик, Р. И.; То, К. Т.; Голосов, Д. А.; Бурдовицин, В. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н. |
| 2021 | Чувствительные элементы газоанализаторов, на основе покрытий, получаемых методом магнетронного распыления | Олиферович, Надежда Михайловна; Анкуда, Максим Анатольевич; Карпович, Дмитрий Семенович |
