Просмотр собрания по группе - Тема осаждение в вакууме
Результаты 1 по 1 из 1
Дата выпуска | Название | Автор(ы) |
---|---|---|
2023 | Композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме | Тульев, Валентин Валентинович |