Browsing by Subject осаждение в вакууме
Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2023 | Композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме | Тульев, Валентин Валентинович |