Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/15306
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Бобрович, Олег Георгиевич | ru |
dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | ru |
dc.date.accessioned | 2017-03-17T12:41:08Z | - |
dc.date.available | 2017-03-17T12:41:08Z | - |
dc.date.issued | 2015 | - |
dc.identifier.citation | Бобрович, О. Г. Композиционный состав и повреждение кремния при нанесении металлических (Co,Zr, W) покрытий в условиях ионного ассистирования / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков // Труды БГТУ. - Минск : БГТУ, 2015. - № 6 (179). - С. 78-82. | - |
dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/15306 | - |
dc.description.abstract | В представленной работе мы исследовали состав, распределение элементов в покрытии, нанесенном на пластины (100) Si при комнатной температуре, а также дефектообразование в кристаллах кремния при нанесении металлического (Со, Zr, W) покрытия в условиях ионного ассистирования. Элементный состав покрытия и распределение элементов по глубине изучали с применением резерфордовского обратного рассеяния (РОР) ионов гелия, а повреждение структуры кремния ? методом просвечивающей электронной микроскопии и методом РОР в сочетании с каналированием (РОР/КИ) ионов гелия. Установлено, что покрытие однородно по составу по всей толщине. Структура кремния повреждается лишь в начальный момент времени модифицирования образца, когда толщина осаждаемого покрытия меньше пробега ассистирующих ионов в материале покрытия. Уменьшение ускоряющего напряжения для ассистирующих ионов Zr+ от 10 до 5 кВ приводит к увеличению толщины покрытия в ?1,5 раза при одинаковом времени модифицирования образцов кремния. Обнаружена зависимость повреждения структуры кремния от энергии облучающих ионов Со+, Zr+ и W+. Концентрация смещенных атомов растет с энергией ионов металла, однако уровень деканалирования за пиком повреждений на спектрах РОР/КИ уменьшается с увеличением энергии ионов Со+, Zr+ в системах Co ? Si, Zr ? Si и увеличивается с повышением энергии ионов W+ в системе W ? Si. | ru |
dc.format.mimetype | application/pdf | en |
dc.language.iso | ru | en |
dc.publisher | БГТУ | ru |
dc.subject | ионное ассистирование | ru |
dc.subject | кремний | ru |
dc.subject | металлические покрытия | ru |
dc.subject | Co-покрытия | ru |
dc.subject | Zr-покрытия | ru |
dc.subject | W-покрытия | ru |
dc.title | Композиционный состав и повреждение кремния при нанесении металлических (Co,Zr, W) покрытий в условиях ионного ассистирования | ru |
dc.type | Article | en |
dc.identifier.udc | 539.211:539.1.06 | - |
Appears in Collections: | 2015, № 6 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
kompozicionnyi-sostav-i-povrezhdenie-kremniya-pri-nanesenii-metallicheskix-so-zr-w-pokrytii-v-usloviyax-ionnogo-assistirovaniya-o.-g.-bobrovich-i.-s.-tashlykov.pdf | 636.43 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.