1. Электронная библиотека БГТУ
  2. Материалы конференций и семинаров
  3. Научно-технические конференции профессорско-преподавательского состава
  4. 80-я научно-техническая конференция профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 1-12 февраля 2016 г.
  5. Технология органических веществ
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/17827
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorВолобуев, Влас Сергеевичru
dc.date.accessioned2017-03-24T12:19:43Z-
dc.date.available2017-03-24T12:19:43Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationВолобуев, В. С. Исследование свойств ионноимплантированных фоторезистов методом ЭПР / В. С. Волобуев // Технология органических веществ : тезисы докладов 80-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 1-12 февраля 2016 г. / Белорусский государственный технологический университет ; [гл. ред. И. М. Жарский]. - Минск : БГТУ, 2016. - С. 61.ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/17827-
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.language.isoruen
dc.publisherБГТУru
dc.subjectионная имплантацияru
dc.subjectионноимплантированные фоторезистыru
dc.titleИсследование свойств ионноимплантированных фоторезистов методом ЭПРru
dc.typeArticleen
dc.identifier.udc537.5-
Appears in Collections:Технология органических веществ

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
issledovanie-svoistv-ionnoimplantirovannyx-fotorezistov-metodom-ehpr-volobuev-v.-s..pdf66.46 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.