Получение и исследование тонких оксидных пленок на планарных и профилированных подложках

Боброва, В. А.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/18162

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Боброва, В. А.	ru
dc.date.accessioned	2017-03-24T12:31:29Z	-
dc.date.available	2017-03-24T12:31:29Z	-
dc.date.issued	2016	-
dc.identifier.citation	Боброва, В. А. Получение и исследование тонких оксидных пленок на планарных и профилированных подложках / В. А. Боброва // 67-я научно-техническая конференция учащихся, студентов и магистрантов, 18-23 апреля, Минск : сборник научных работ : в 4 ч. Ч. 2 / Белорусский государственный технологический университет ; [редкол.: Э. Т. Крутько и др.]. - Минск : БГТУ, 2016. – С. 333-336.	ru
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/18162	-
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	БГТУ	ru
dc.subject	тонкие оксидные пленки	ru
dc.subject	пленочные структуры	ru
dc.subject	планарные подложки	ru
dc.subject	профилированные подложки	ru
dc.title	Получение и исследование тонких оксидных пленок на планарных и профилированных подложках	ru
dc.type	Article	en
dc.identifier.udc	661.8`022	-
Appears in Collections:	67-я научно-техническая конференция учащихся, студентов и магистрантов, 18-23 апреля, Минск : сборник научных работ : в 4 ч. Ч. 2 / Белорусский государственный технологический университет. - Минск : БГТУ, 2016. - 509 с.

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
poluchenie-i-issledovanietonkix-oksidnyx-plenok-na-planarnyx-i-profilirovannyx-podlozhkax-bobrova-v.-a..pdf		145.92 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record