Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/18532
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Крутько, Эльвира Тихоновна | ru |
dc.contributor.author | Журавлева, М. В. | ru |
dc.contributor.author | Мартинкевич, Александр Александрович | ru |
dc.contributor.author | Прокопчук, Николай Романович | ru |
dc.date.accessioned | 2017-03-24T12:38:14Z | - |
dc.date.available | 2017-03-24T12:38:14Z | - |
dc.date.issued | 2016 | - |
dc.identifier.citation | Использование полиимидов в процессе фотолитографии / Э. Т. Крутько [и др.] // Труды БГТУ. №4. Химия, технология органических веществ и биотехнология, 2016. - С. 59-66. | - |
dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/18532 | - |
dc.description.abstract | Благодаря уникальным свойствам полиимидов (высокой термической стабильности, хоро-шим механическим и электрофизическим показателям, устойчивости к воздействиям высоких энергий, сохраняющимся в широком температурном интервале, отличной планаризуемости) они получают все большее распространение в технике и технологии, в частности в микроэлектронике. Придание полиимидным материалам, использующимся в технологии микроэлектроники, фоторезистивных свойств позволяет повысить эффективность производства интегральных схем за счет уменьшения числа технологических операций и снижения количества брака. Речь, в частности, идет о создании фоточувствительных полиимидов негативного и позитивного типов, содержащих реакционно-способные группировки, способные полимеризоваться под действием УФ-света в присутствии фотоинициатора. Целью настоящей работы являлось повышение светочувствительности, разрешающей способности и термостойкости материала, полученного с использованием светочувствительной полиимидной композиции. Предложена новая светочувствительная полиимидная композиция на основе раствора полиамидокислоты в органическом растворителе, тетрамалеинамидокислоты в присутствии светочувствительного компонента. Предпосылкой возможности создания сетчатой структуры полимера, обуславливающей различную растворимость его участков после воздействия УФ-излучения, является химическая природа используемых соединений. Результаты исследования показывают: используя предлагаемую композицию, можно получить наилучшие результаты по светочувствительности в сочетании с другими характеристиками. | ru |
dc.format.mimetype | application/pdf | en |
dc.language.iso | ru | en |
dc.publisher | БГТУ | ru |
dc.subject | микроэлектронная промышленность | ru |
dc.subject | полиамидокислота | ru |
dc.subject | тетрамалеинамидокислота | ru |
dc.subject | светочувствительная полиимидная композиция | ru |
dc.subject | структурирование полимера | ru |
dc.title | Использование полиимидов в процессе фотолитографии | ru |
dc.type | Article | en |
dc.identifier.udc | 541.64:536.4 | - |
Располагается в коллекциях: | Труды БГТУ. №4. Химия, технология органических веществ и биотехнология, 2016 |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
ispolzovanie-poliimidov-v-processe-fotolitografii--krutko-eh.-t.-zhuravleva-m.-v.-martinkevich-a.-a.-prokopchuk-n.-r..pdf | 639.4 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.