Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/20109
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Бобрович, Олег Георгиевич | ru |
dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | ru |
dc.date.accessioned | 2017-03-29T12:00:47Z | - |
dc.date.available | 2017-03-29T12:00:47Z | - |
dc.date.issued | 2016 | - |
dc.identifier.citation | Бобрович, О. Г. Формирование покрытия на кремнии нанесением Cr в условиях ионного ассистирования / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков // Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2016. - С. 91-95 | - |
dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/20109 | - |
dc.description.abstract | В представленной работе мы исследовали состав и распределение элементов в покрытии, нанесенном на пластины (100) Si в условиях ионного ассистирования при комнатной температу-ре, а также химические связи элементов в поверхностном слое кристаллов кремния при нанесе-нии Cr-покрытия. Элементный состав покрытия и распределение элементов по глубине изучали с применением резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и вторичной ионной масс-спектрометрии. | ru |
dc.format.mimetype | application/pdf | en |
dc.language.iso | ru | en |
dc.publisher | БГТУ | ru |
dc.subject | Cr-покрытия | ru |
dc.subject | кремний | ru |
dc.subject | элементный состав | ru |
dc.subject | ионное ассистирование | ru |
dc.subject | металлические покрытия | ru |
dc.title | Формирование покрытия на кремнии нанесением Cr в условиях ионного ассистирования | ru |
dc.type | Article | en |
dc.identifier.udc | 539.211:539.1.06 | - |
Appears in Collections: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2016 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
formirovanie-pokrytiya-na-kremnii-naneseniem-cr-v-usloviyax-ionnogo-assistirovaniya-bobrovich-o.-g.-tashlykov-i.-s..pdf | 676.35 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.