Холловские измерения в кремнии методом частотного сканирования

Abstract

Предлагается методика бесконтактных холловских измерений, в которой применяются плоские электроды с обеих сторон пластинки из беспримесного кремния. На образец подается синусоидальное напряжение переменной частоты, создающее поперечную холловскую ЭДС в постоянном магнитном поле. Образец с электродами соединяется с катушкой индуктивности, образуя резонансный контур. В качестве регистрируемого сигнала используется резонансное напряжение на частотной развертке, пропорциональное холловской ЭДС. Концентрация носителей, оцененная по измеренной постоянной Холла, согласуется со значением, полученным с использованием данных СВЧ-зондирования и удельной электропроводности. Значение энергии активации, полученное из температурной зависимости постоянной Холла, составило 0,58 эВ.