Состав и распределение элементов по глубине в покрытиях, полученных ионно-ассистируемым осаждением титана и кремния на сталь марки 40Х

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/23647

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.date.accessioned	2017-11-17T11:05:48Z	-
dc.date.available	2017-11-17T11:05:48Z	-
dc.date.issued	2017	-
dc.identifier.citation	Тульев, В. В. Состав и распределение элементов по глубине в покрытиях, полученных ионно-ассистируемым осаждением титана и кремния на сталь марки 40Х / В. В. Тульев, И. С. Ташлыков // Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2017. - № 2 (200). - С. 66-70	ru
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/23647	-
dc.description.abstract	На подложки из стали марки 40Х наносились тонкие пленки на основе титана и титана с кремнием методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Элементный состав и распределение элементов по глубине в сформированных на стали и бериллии покрытиях изучались методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием, методом резонансных ядерных реакций и методом резонансного упругого рассеяния ионов гелия.	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	ru
dc.publisher	БГТУ	ru
dc.subject	ионно-ассистируемое осаждение	ru
dc.subject	нанесение покрытий	ru
dc.subject	стали	ru
dc.subject	бериллий	ru
dc.subject	кремний	ru
dc.subject	титан	ru
dc.subject	тонкие пленки	ru
dc.title	Состав и распределение элементов по глубине в покрытиях, полученных ионно-ассистируемым осаждением титана и кремния на сталь марки 40Х	ru
dc.type	Article	en
dc.identifier.slug	539.1.06:539.23.234
Appears in Collections:	выпуск журнала постатейно

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Tul'ev_Sostav.pdf		344.14 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record