Исследование процессов термического окисления тонких оловянных пленок

Зарапин, Виталий Георгиевич; Лугин, Валерий Геннадьевич; Березняцкий, А. В.; Жарский, Иван Михайлович

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/27150

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Зарапин, Виталий Георгиевич	-
dc.contributor.author	Лугин, Валерий Геннадьевич	-
dc.contributor.author	Березняцкий, А. В.	-
dc.contributor.author	Жарский, Иван Михайлович	-
dc.date.accessioned	2018-12-12T06:09:13Z	-
dc.date.available	2018-12-12T06:09:13Z	-
dc.date.issued	1999	-
dc.identifier.citation	Исследование процессов термического окисления тонких оловянных пленок / В. Г. Зарапин [и др.] // Весці Нацыянальнай акадэміі навук Беларусі. Сер. хімічных навук. - 1999. - № 3. - С. 15-20.	ru
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/27150	-
dc.description.abstract	Работа посвящена исследованию изменений структурных и электрофизических параметров, происходящих при неизотермическом окислении тонких оловянных пленок, а также изучению структуры и химического состава оксидно-оловянных пленок, полученных термическим окислением.	ru
dc.subject	термическое окисление	ru
dc.subject	металлооксидные полупроводники	ru
dc.subject	тонкие оловянные пленки	ru
dc.subject	неизотермическое окисление	ru
dc.subject	оксидно-оловянные пленки	ru
dc.subject	пленки металлического олова	ru
dc.subject	тонкопленочные оксидно-оловянные покрытия	ru
dc.title	Исследование процессов термического окисления тонких оловянных пленок	ru
dc.type	Article	ru
dc.identifier.udc	546.814 + 539.23	-
Appears in Collections:	Статьи в республиканских изданиях

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Zarapin_Issledovanie processov.pdf		1.09 MB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record