1. Электронная библиотека БГТУ
  2. Публикации ученых БГТУ
  3. Публикации в республиканских изданиях
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/27393
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПочтенный, Артем Евгеньевич-
dc.contributor.authorШишкин, Николай Яковлевич-
dc.contributor.authorДолгий, Валерий Казимирович-
dc.contributor.authorЗарапин, Виталий Георгиевич-
dc.contributor.authorИльюшонок, Ирина Петровна-
dc.contributor.authorЛугин, Валерий Геннадьевич-
dc.contributor.authorМисевич, Алексей Васильевич-
dc.date.accessioned2018-12-20T15:12:25Z-
dc.date.available2018-12-20T15:12:25Z-
dc.date.issued1996-
dc.identifier.citationМетоды вакуумных технологий в применении к созданию твердотельных химических сенсоров / А. Е. Почтенный [и др.] // Ресурсосберегающие и экологически чистые технологии : тезисы докладов Второй научно-технической конференции, Гродно, 8-9 октября 1996 г. - Гродно : Гродн. гос. ун-т им. Я. Купалы, 1996. - С. 243.ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/27393-
dc.description.abstractОсновной проблемой химической сенсорики является создание высокочувствительных, селективных, надежных и долговечных чувствительных элементов датчиков газового анализа. К наиболее перспективным путям решения этой проблемы относится использование ресурсосберегающих и экологически чистых вакуумных технологий микроэлектроники. В данной работе рассматриваются результаты использования таких методов для создания адсорбционно-резистивных тонкопленочных сенсоров на основе металлокомплексов фталоцианина и оксида олова.ru
dc.subjectвакуумных технологииru
dc.subjectхимическая сенсорикаru
dc.subjectтонкопленочные сенсорыru
dc.subjectметаллокомплексы фталоцианинаru
dc.subjectоксид оловаru
dc.subjectтвердотельные химические сенсорыru
dc.subjectресурсосберегающие технологииru
dc.titleМетоды вакуумных технологий в применении к созданию твердотельных химических сенсоровru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udc539.234-
Appears in Collections:Публикации в республиканских изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pochtennyj_Metody vakuumnyh.pdf43.96 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.