Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/27393
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Почтенный, Артем Евгеньевич | - |
dc.contributor.author | Шишкин, Николай Яковлевич | - |
dc.contributor.author | Долгий, Валерий Казимирович | - |
dc.contributor.author | Зарапин, Виталий Георгиевич | - |
dc.contributor.author | Ильюшонок, Ирина Петровна | - |
dc.contributor.author | Лугин, Валерий Геннадьевич | - |
dc.contributor.author | Мисевич, Алексей Васильевич | - |
dc.date.accessioned | 2018-12-20T15:12:25Z | - |
dc.date.available | 2018-12-20T15:12:25Z | - |
dc.date.issued | 1996 | - |
dc.identifier.citation | Методы вакуумных технологий в применении к созданию твердотельных химических сенсоров / А. Е. Почтенный [и др.] // Ресурсосберегающие и экологически чистые технологии : тезисы докладов Второй научно-технической конференции, Гродно, 8-9 октября 1996 г. - Гродно : Гродн. гос. ун-т им. Я. Купалы, 1996. - С. 243. | ru |
dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/27393 | - |
dc.description.abstract | Основной проблемой химической сенсорики является создание высокочувствительных, селективных, надежных и долговечных чувствительных элементов датчиков газового анализа. К наиболее перспективным путям решения этой проблемы относится использование ресурсосберегающих и экологически чистых вакуумных технологий микроэлектроники. В данной работе рассматриваются результаты использования таких методов для создания адсорбционно-резистивных тонкопленочных сенсоров на основе металлокомплексов фталоцианина и оксида олова. | ru |
dc.subject | вакуумных технологии | ru |
dc.subject | химическая сенсорика | ru |
dc.subject | тонкопленочные сенсоры | ru |
dc.subject | металлокомплексы фталоцианина | ru |
dc.subject | оксид олова | ru |
dc.subject | твердотельные химические сенсоры | ru |
dc.subject | ресурсосберегающие технологии | ru |
dc.title | Методы вакуумных технологий в применении к созданию твердотельных химических сенсоров | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.identifier.udc | 539.234 | - |
Appears in Collections: | Статьи в республиканских изданиях |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Pochtennyj_Metody vakuumnyh.pdf | 43.96 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.