Элементный состав структуры Cu/Al, сформированной динамическим атомным перемешиванием

Abstract

В данной работе с помощью резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием был проведен анализ элементного состава структур Cu/AI, полученных осаждение меди на алюминиевую подложку методом динамического атомного перемешивания. Проведенное исследование позволило установить, что создаваемые структуры содержат ~10 ат.% меди, ~1 ат.% кислорода и - 0,3 ат.% аргона. При этом наблюдается проникновение атомов алюминия в пленку меди вследствие атомного перемешивания, проникновение атомов меди и кислорода в алюминий вследствие радиационно-стимулированной диффузии, а также распыление пленки меди.