Структура и свойства ионно-плазменных покрытий на основе нитридов переходных металлов

Abstract

Состав покрытий систем Ti-Zr-N, Zr-Cr-N и Ti-Cr-N при их синтезе методом осаждения из плазмы можно регулировать изменением режима электродугового разряда и величины давления реакционного газа (азота). Установлена прямая корреляция между токами горения дуговых разрядов и концентрацией соответствующих элементов в покрытиях нитридных систем. Покрытия систем Ti-Mo-N, и Zr-Mo-N имеют слоистую структуру, возникновение которой определяется главным образом неустойчивостью горения дуговых разрядов катодов и разной растворимостью азота в областях с переменным соотношением металлических компонентов.