Исследование структуры и химических связей в покрытиях на основе W, полученных на эластомере методом ионно-ассистированного осаждения

Abstract

Исследования методами резерфордовского обратного рассеяния и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии поверхностных структур, полученных ионно-ассистированным осаждением покрытий на основе W на эластомер в условиях самооблучения с энергией ассистирующих ионов 20 кэВ и интегральным потоком 2x10{17} ион/см{2}, примесей Н, С и О. При этом установлено, что создаваемые покрытия содержат помимо преципитатов W, оксидные и карбидные фазы типа WC, WO[2] и WO[3] , а также углерод в виде графита.