Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/28598
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКлунникова, Ю. В.ru
dc.contributor.authorСаенко, А. В.ru
dc.contributor.authorМалюков, С. П.ru
dc.date.accessioned2019-03-29T12:25:01Z-
dc.date.available2019-03-29T12:25:01Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationКлунникова, Ю. В. Исследование свойств пленок диоксида титана на сапфировой подложке / Ю. В. Клунникова, А. В. Саенко, С. П. Малюков // Инновационные материалы и технологии : материалы докладов Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 9-11 января 2019 г. – Минск : БГТУ, 2019. - С. 299-301.-
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/28598-
dc.description.abstractВозможность формирования тонких пленок на диэлектрических и полупроводниковых подложках открывает широкие возможности для конструирования функциональных устройств (фотоэлектрических преобразователей и чувствительных элементов газовых датчиков). Одной из важных особенностей газовых датчиков на основе тонких пленок диоксида титана (TiO[2]) является возможность их работы при высоких температурах из-за химической стабильности пленки. Для получения пленки диоксида титана на сапфировой подложке использовался метод центрифугирования с последующим отжигом в муфельной печи.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.language.isoruen
dc.publisherБГТУru
dc.subjectдиоксид титанаru
dc.subjectпленки диоксида титанаru
dc.subjectсапфировая подложкаru
dc.subjectцентрифугированиеru
dc.subjectтермоупругие напряженияru
dc.subjectсвойства тонких пленокru
dc.titleИсследование свойств пленок диоксида титана на сапфировой подложкеru
dc.typeArticleen
dc.identifier.udc539.3-
Appears in Collections:Материалы конференции постатейно

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Klunnikova_Issledovanie svojstv.pdf156.96 kBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.