1. Электронная библиотека БГТУ
  2. Материалы конференций и семинаров
  3. Международные конференции
  4. Инновационные материалы и технологии
  5. Инновационные материалы и технологии - 2019
  6. Материалы конференции постатейно
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/28605
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКидалов, В. В.ru
dc.contributor.authorДяденчук, А. Ф.ru
dc.contributor.authorБачериков, Ю. Ю.ru
dc.contributor.authorЖук, А. Г.ru
dc.contributor.authorБатурин, В. А.ru
dc.contributor.authorРогозин, И. В.ru
dc.contributor.authorФилоненко, М. Н.ru
dc.contributor.authorКарпенко, О. Ю.ru
dc.date.accessioned2019-03-30T09:52:39Z-
dc.date.available2019-03-30T09:52:39Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationПленки ZnO полученные на мезо- и макропористых подложках Si методом магнетронного напыления / В. В. Кидалов [и др.] // Инновационные материалы и технологии : материалы докладов Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 9-11 января 2019 г. – Минск : БГТУ, 2019. - С. 273-277.-
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/28605-
dc.description.abstractВ настоящей работе методом реактивным магнетронным ВЧ распылением получены пленки ZnO на подложках кремния ориентации (100) и (111) с предварительно нанесенной системой мезо- и макропор. Рентгенографические исследования ZnO показали, что она имеет поликристаллическую природу с гексагональной решеткой типа вюрцита. Средние размеры кристаллитов составили порядка 50-200 нанометров. Микроэлементный анализ выявил практически идеальную стехиометричность ZnO выращенного на porous-Si/Si.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.language.isoruen
dc.publisherБГТУru
dc.subjectоксидные покрытияru
dc.subjectпленочные покрытияru
dc.subjectоксид цинкаru
dc.subjectпленки оксида цинкаru
dc.subjectметод магнетронного распыленияru
dc.subjectполупроводниковые подложкиru
dc.subjectподложки кремнияru
dc.subjectмезопористые подложки Siru
dc.subjectмакропористые подложки Siru
dc.subjectпленки ZnOru
dc.titleПленки ZnO полученные на мезо- и макропористых подложках Si методом магнетронного напыленияru
dc.typeArticleen
Appears in Collections:Материалы конференции постатейно

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kidalov_Plenki ZnO.pdf944.98 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.