1. Электронная библиотека БГТУ
  2. Материалы конференций и семинаров
  3. Международные конференции
  4. Инновационные материалы и технологии
  5. Инновационные материалы и технологии - 2019
  6. Материалы конференции постатейно
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.belstu.by/handle/123456789/28605
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorКидалов, В. В.ru
dc.contributor.authorДяденчук, А. Ф.ru
dc.contributor.authorБачериков, Ю. Ю.ru
dc.contributor.authorЖук, А. Г.ru
dc.contributor.authorБатурин, В. А.ru
dc.contributor.authorРогозин, И. В.ru
dc.contributor.authorФилоненко, М. Н.ru
dc.contributor.authorКарпенко, О. Ю.ru
dc.date.accessioned2019-03-30T09:52:39Z-
dc.date.available2019-03-30T09:52:39Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationПленки ZnO полученные на мезо- и макропористых подложках Si методом магнетронного напыления / В. В. Кидалов [и др.] // Инновационные материалы и технологии : материалы докладов Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 9-11 января 2019 г. – Минск : БГТУ, 2019. - С. 273-277.-
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/28605-
dc.description.abstractВ настоящей работе методом реактивным магнетронным ВЧ распылением получены пленки ZnO на подложках кремния ориентации (100) и (111) с предварительно нанесенной системой мезо- и макропор. Рентгенографические исследования ZnO показали, что она имеет поликристаллическую природу с гексагональной решеткой типа вюрцита. Средние размеры кристаллитов составили порядка 50-200 нанометров. Микроэлементный анализ выявил практически идеальную стехиометричность ZnO выращенного на porous-Si/Si.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.language.isoruen
dc.publisherБГТУru
dc.subjectоксидные покрытияru
dc.subjectпленочные покрытияru
dc.subjectоксид цинкаru
dc.subjectпленки оксида цинкаru
dc.subjectметод магнетронного распыленияru
dc.subjectполупроводниковые подложкиru
dc.subjectподложки кремнияru
dc.subjectмезопористые подложки Siru
dc.subjectмакропористые подложки Siru
dc.subjectпленки ZnOru
dc.titleПленки ZnO полученные на мезо- и макропористых подложках Si методом магнетронного напыленияru
dc.typeArticleen
Располагается в коллекциях:Материалы конференции постатейно

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Kidalov_Plenki ZnO.pdf944.98 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.