Формирование хемочувствительных оксидных покрытий на сложнопрофилированных матрицах анодного оксида алюминия

Abstract

Проведены исследования по формированию композиционных матрично-пленочных оксидных структур на примере хемочувствительных слоев Mo-ҒеО/Al[2]O[3]/Si и Ғe-SnO[2]/Al[2]O[3]/Si с использованием методов химического и электрохимического осаждения на поверхность пористого анодного оксида алюминия. Полученные структуры исследованы с помощью сканирующей электронной микроскопии и электроннозондового микроанализа, что позволило подтвердить предполагаемый состав оксидных структур.