Элементный состав и распределение компонентов по глубине в структурах Pd/Fe, полученных методом динамического атомного перемешивания

Abstract

С помощью резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием был проведен анализ элементного состава структур Pd/Fe, полученных осаждением атомов палладия на подложку из железа методом динамического атомного перемешивания. В качестве ассистирующих ионов использовались ионы аргона с энергией 6 кэВ. Плотность ионного тока составляла ?9–20 мкА/см2, интегральный поток ионов аргона был (0,7– 1,6) ? 1016 ион/см2. Проведенное исследование позволило установить, что создаваемые структуры помимо атомов железа содержат ?30–47 ат. % атомов палладия и ?0,5–1,2 ат. % атомов аргона. При этом наблюдается проникновение атомов железа в пленку палладия вследствие атомного перемешивания, проникновение атомов палладия в железо вследствие радиационно-стимулированной диффузии, а также распыление пленки палладия.