Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/36289
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Тульев, Валентин Валентинович | - |
dc.date.accessioned | 2020-11-06T10:02:49Z | - |
dc.date.available | 2020-11-06T10:02:49Z | - |
dc.date.issued | 2020 | - |
dc.identifier.citation | Тульев, В. В. Влияние ионно-ассистируемого осаждения металлсодержащих покрытий на содержание водорода в Cr/Si, Ti/Si и Zr/Si-структурах / В. В. Тульев // Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2020. - № 2 (236). - С. 85-88. - Библиогр.: 7 назв. - ил., табл. | ru |
dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/36289 | - |
dc.description.abstract | В данной работе обсуждаются экспериментальные результаты по изучению распределения водорода в приповерхностных слоях Cr/Si-, Ti/Si- и Zr/Si-структур, сформированных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме. Этот метод заключается в осаждении покрытия на подложку при одновременном облучении формируемой структуры ускоренными ионами материала покрытия. Установлено, что при ионно-ассистируемом нанесении металлсодержащих (Cr, Ti и Zr) покрытий на кремний формируются поверхностные структуры толщиной ∼100−400 нм в зависимости от времени осаждения. | ru |
dc.format.mimetype | application/pdf | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БГТУ | ru |
dc.subject | ионно-ассистируемые осаждения | ru |
dc.subject | кремний | ru |
dc.subject | хром | ru |
dc.subject | титан | ru |
dc.subject | цирконий | ru |
dc.subject | водород | ru |
dc.subject | метод резонансных ядерных реакций | ru |
dc.subject | металлсодержащие покрытия | ru |
dc.subject | поверхностные структуры | ru |
dc.title | Влияние ионно-ассистируемого осаждения металлсодержащих покрытий на содержание водорода в Cr/Si, Ti/Si и Zr/Si-структурах | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.identifier.udc | 539.1.06:539.23.234 | - |
Appears in Collections: | выпуск журнала постатейно |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
14. Тульев.pdf | 631.99 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.