Низкочастотный генератор электрических импульсов для ионно-плазменной модификации материалов в плазме импульсного тлеющего разряда

Abstract

Для процесса модификации был разработан генератор с программным управлением, импульсной нагрузкой в 2 А и выходным напряжением от 600 В до 1200 В. Проведенные испытания разработанной конструкции генератора показали на возможность его длительной работы (применительно к задачам плазменного модифицирования поверхности токопроводящих материалов) и воспроизводимость режимов плазменной обработки от цикла к циклу технологической операции.