Перспективы экологической модернизации технологических процессов анодного окисления кремния и его соединений

Милашич, В. А.; Милешко, Л. П.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/36634

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Милашич, В. А.	ru
dc.contributor.author	Милешко, Л. П.	ru
dc.date.accessioned	2020-11-24T09:59:36Z	-
dc.date.available	2020-11-24T09:59:36Z	-
dc.date.issued	2020	-
dc.identifier.citation	Милашич, В. А. Перспективы экологической модернизации технологических процессов анодного окисления кремния и его соединений / В. А. Милашич, Л. П. Милешко // Инновационные материалы и технологии - 2020 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 9-10 января 2020 г. - Минск : БГТУ, 2020. – С. 436-439.	ru
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/36634	-
dc.description.abstract	В данной работе рассматриваются возможности совершенствования технологических процессов получения анодных пленок нанометровой толщины на основе диоксида кремния путем рационального выбора экологичных электролитов.	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	ru
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	БГТУ	ru
dc.subject	технологические процессы	ru
dc.subject	анодное окисление	ru
dc.subject	анодные пленки	ru
dc.subject	анодное окисление кремния	ru
dc.subject	экологизация	ru
dc.subject	анодные оксидные пленки	ru
dc.subject	экологизация процессов анодного окисления кремния	ru
dc.subject	экологичность электролитов	ru
dc.title	Перспективы экологической модернизации технологических процессов анодного окисления кремния и его соединений	ru
dc.type	Article	en
dc.identifier.udc	546.824.31	-
Appears in Collections:	Материалы конференции постатейно

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Milashich_Perspektivy_ekologicheskoj.pdf		197.95 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record