Cинтез таблетированных мишеней на основе микропорошков пирогенного кремнезема, содержащих соединения меди

Abstract

С применением золь-гель метода был оптимизирован процесс формирования композиционных микропорошков состава «полупроводник-диэлектрик» (SiO[2]:CuO) и «металл-диэлектрик» (SiO[2]:Cuº), предназначенных для получения таблетированных мишеней, используемых при нанесении покрытий в вакууме с помощью испарения электронным пучком или методом магнетронного распыления. Таблетки композиционного состава формировались методом одноосного полусухого прессования на основе SiO[2]-ксерогелей, содержащих оксид меди или восстановленную медь различной концентрации и представляли собой, фактически, прототипы мишеней для распыления в вакууме.