Исследование тонкопленочных структур Sn[x]W[y]O[z]/Al[2]O[3]/Si

Боброва, В. А.; Галковский, Тимур Вячеславович

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/37542

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Боброва, В. А.	-
dc.contributor.author	Галковский, Тимур Вячеславович	-
dc.date.accessioned	2021-02-08T11:46:13Z	-
dc.date.available	2021-02-08T11:46:13Z	-
dc.date.issued	2016	-
dc.identifier.citation	Боброва, В. А. Исследование тонкопленочных структур Sn[x]W[y]O[z]/Al[2]O[3]/Si / В. А. Боброва, Т. В. Галковский // Научные стремления : молодежный сборник научных статей. - Минск : Лаборатория интеллекта, 2016. - Вып. 19. - С. 96-100.	ru
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/37542	-
dc.description.abstract	В работе представлены результаты экспериментального исследования процесса формирования тонких газочувствительных пленок состава Sn[x]W[y]O[z]/Al[2]O[3]/Si методом ионного наслаивания, изучения электрофизических свойств пленок, влияния состава окружающей газовой среды на проводимость слоев и выяснение особенностей их применения в качестве датчиков газов. Исследованы зависимости электрофизических характеристик тонких газочувствительных пленок от температуры и состава окружающей среды.	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.subject	тонкопленочные структуры	ru
dc.subject	тонкие пленки	ru
dc.subject	оксиды олова	ru
dc.subject	олово	ru
dc.subject	вольфрам	ru
dc.subject	газочувствительные пленки	ru
dc.subject	ионное наслаивание	ru
dc.subject	тонкие газочувствительные пленки	ru
dc.subject	электрофизические свойства	ru
dc.title	Исследование тонкопленочных структур Sn[x]W[y]O[z]/Al[2]O[3]/Si	ru
dc.type	Article	ru
dc.identifier.udc	621.794.4:661.862.22	-
Appears in Collections:	Статьи в республиканских изданиях

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Bobrova_Issledovanie.pdf		957.69 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record