Структура металлсодержащего (Mo, W) покрытия, осажденного на графит в условиях ионного ассистирования

Abstract

В статье рассматривается элементный состав покрытия, распределение элементов в покрытии и их химические связи при формировании структуры покрытие − подложка в системах Мо − графит и W − графит, создаваемой нанесением многокомпонентного, металлсодержащего (Мо, W) покрытия в условиях ассистирования ионами Мо{+} и W{+} соответственно. Результаты анализа спектров рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии показали, что в системе Мо − графит молибден находится как в виде металлического молибдена, так и виде оксида МоО[2], а в системе W − графит анализ спектров дал возможность определить металлический вольфрам и оксиды вольфрама WO[2], WO[3].