Закономерности формирования тонких пленок In2О3 методом термического окисления индия

Лугин, Валерий Геннадьевич; Жарский, Иван Михайлович

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44905

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Лугин, Валерий Геннадьевич	-
dc.contributor.author	Жарский, Иван Михайлович	-
dc.date.accessioned	2022-01-12T04:58:09Z	-
dc.date.available	2022-01-12T04:58:09Z	-
dc.date.issued	2001	-
dc.identifier.citation	Лугин, В. Г. Закономерности формирования тонких пленок In2О3 методом термического окисления индия / В. Г. Лугин, И. М. Жарский // Труды БГТУ. №3. Химия и технология неорганических веществ, 2001. - С. 53-60.	ru
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/44905	-
dc.description.abstract	Целью настоящей работы являлось исследование закономерностей изменения структурных и электрофизических параметров, происходящих в процессе неизотермического окисления тонких пленок индия.	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	БГТУ	ru
dc.subject	индий	ru
dc.subject	термическое окисление	ru
dc.subject	полупроводниковые материалы	ru
dc.subject	тонкие пленки индия	ru
dc.subject	магнетронное напыление	ru
dc.subject	кремний монокристаллический	ru
dc.subject	электронная микроскопия	ru
dc.title	Закономерности формирования тонких пленок In2О3 методом термического окисления индия	ru
dc.type	Article	ru
dc.identifier.udc	546.814+539.23	-
Appears in Collections:	Труды БГТУ. №3. Химия и технология неорганических веществ, 2001

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Лугин. Жарский_Закономерности.pdf		1.3 MB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record