Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/45149
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Галенко, Е. Н. | - |
dc.contributor.author | Шарко, С. А. | - |
dc.date.accessioned | 2022-01-19T08:49:06Z | - |
dc.date.available | 2022-01-19T08:49:06Z | - |
dc.date.issued | 2021 | - |
dc.identifier.citation | Галенко, Е. Н. Электрические свойства наноразмерных слоёв золота, полученных методом ионно-лучевого распыления–осаждения / Е. Н. Галенко, С. А. Шарко // Инновационные материалы и технологии - 2021 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 19-21 января 2021 г. - Минск : БГТУ, 2021. – С. 402-405. | ru |
dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/45149 | - |
dc.description.abstract | В данной работе исследовались электрические свойства слоёв золота толщиной 2–13 нм, полученных на подложках кремния методом ионно-лучевого распыления – осаждения с применением дополнительной операции напыления и последующего распыления слоя золота толщиной несколько нанометров. | ru |
dc.format.mimetype | application/pdf | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БГТУ | ru |
dc.subject | наноразмерные слои металлов | ru |
dc.subject | наноразмерные слои золота | ru |
dc.subject | электрические свойства слоёв золота | ru |
dc.subject | подложки кремния | ru |
dc.subject | метод ионно-лучевого распыления–осаждения | ru |
dc.subject | линейный четырёхзондовый метод | ru |
dc.title | Электрические свойства наноразмерных слоёв золота, полученных методом ионно-лучевого распыления–осаждения | ru |
dc.type | Article | ru |
Располагается в коллекциях: | материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Галенко_Электрические.pdf | 211.6 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.