1. Электронная библиотека БГТУ
  2. Материалы конференций и семинаров
  3. Международные конференции
  4. Инновационные материалы и технологии
  5. Инновационные материалы и технологии - 2021
  6. материалы конференции постатейно
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/45149
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorГаленко, Е. Н.-
dc.contributor.authorШарко, С. А.-
dc.date.accessioned2022-01-19T08:49:06Z-
dc.date.available2022-01-19T08:49:06Z-
dc.date.issued2021-
dc.identifier.citationГаленко, Е. Н. Электрические свойства наноразмерных слоёв золота, полученных методом ионно-лучевого распыления–осаждения / Е. Н. Галенко, С. А. Шарко // Инновационные материалы и технологии - 2021 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 19-21 января 2021 г. - Минск : БГТУ, 2021. – С. 402-405.ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/45149-
dc.description.abstractВ данной работе исследовались электрические свойства слоёв золота толщиной 2–13 нм, полученных на подложках кремния методом ионно-лучевого распыления – осаждения с применением дополнительной операции напыления и последующего распыления слоя золота толщиной несколько нанометров.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfru
dc.language.isoruru
dc.publisherБГТУru
dc.subjectнаноразмерные слои металловru
dc.subjectнаноразмерные слои золотаru
dc.subjectэлектрические свойства слоёв золотаru
dc.subjectподложки кремнияru
dc.subjectметод ионно-лучевого распыления–осажденияru
dc.subjectлинейный четырёхзондовый методru
dc.titleЭлектрические свойства наноразмерных слоёв золота, полученных методом ионно-лучевого распыления–осажденияru
dc.typeArticleru
Appears in Collections:материалы конференции постатейно

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Галенко_Электрические.pdf211.6 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.