Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/51185
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Тульев, Валентин Валентинович | - |
dc.date.accessioned | 2022-10-24T12:37:57Z | - |
dc.date.available | 2022-10-24T12:37:57Z | - |
dc.date.issued | 2021 | - |
dc.identifier.citation | Тульев, В. В. Элементный анализ поверхностных структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением на сталь 40Х покрытий на основе Ti, Cr, W / В. В. Тульев // Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы Международной конференции, посвященной 100-летию Белорусского государственного университета, г. Минск, 21-24 сентября 2021 г. - Минск : БГУ, 2021. - С. 547-551. - Библиогр.: 10 назв. | ru |
dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/51185 | - |
dc.description.abstract | На подложки из стали марки 40Х наносились покрытия на основе Ti, Cr, W методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Для реализации этого метода использовался ионный источник, создающий плазму вакуумного электродугового разряда, в которой одновременно генерируются положительные ионы и нейтральная фракция из материала электродов. Ионно-ассистируемое осаждение осуществлялось при ускоряющих напряжениях 15 кВ, плотности ионного тока ~ 3-5 мкА/см{2} и интегральном потоке ассистирующих ионов (1ּּ-6)∙1016 ион/см{2}. В рабочей камере в процессе осаждения покрытий поддерживался вакуум при давлении ~10{−2} Па. Для дополнительного контроля элементного состава осаждаемого на мишень покрытия использовались образцы-свидетели из бериллия. Элементный состав и распределение элементов по глубине в сформированных покрытиях изучались методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием, методом резонансных ядерных реакций и методом резонансного упругого рассеяния ионов гелия. Установлено независимыми и взаимодополняющими методами, что в состав покрытий входят атомы осаждаемого металла (10-30 ат. %), атомы железа из подложки (20-30 ат. %), атомы технологических примесей водорода (5-10 ат.%), углерода (5-10 ат.%), кислорода (10-30 ат.%). | ru |
dc.format.mimetype | application/pdf | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.subject | элементный анализ | ru |
dc.subject | поверхностные структуры | ru |
dc.subject | ионно-ассистируемое осаждение | ru |
dc.subject | осаждение покрытий | ru |
dc.subject | резерфордовское обратное рассеяние | ru |
dc.subject | бериллий | ru |
dc.subject | компьютерное моделирование | ru |
dc.subject | резонансные ядерные реакции | ru |
dc.subject | ионы гелия | ru |
dc.title | Элементный анализ поверхностных структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением на сталь 40Х покрытий на основе Ti, Cr, W | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.identifier.udc | 621.793.3 | - |
Appears in Collections: | Публикации в республиканских изданиях |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Тульев_Элементный анализ.pdf | 377.47 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.