Исследование режимов травления свинцового маскирующего покрытия в производстве силовых диодов

Abstract

C использованием полнофакторного эксперимента исследовано влияние температуры, состава и продолжительности обработки на скорость селективного травления свинца в структуре Pb/Ni/Si на этапе разделения кремниевых пластин в производстве силовых диодов. Обоснована возможность увеличения скорости травления на 10%. при уменьшении температуры травления от 50 до 40 ◦С и содержания H[2]O[2] с 50 до 37 масс. %.