Сенсорные свойства тонкопленочных двухфазных слоев SnO[2]-CuO по отношению к восстановительным газам

Abstract

Изучены оксидные тонкопленочные композиции на основе SnO[2]-CuO с содержанием меди- 10, 20, 30, 40, 50 ат.% по отношению к олову. Диаграмма состояния данной оксидной системы имеет простую звтектику с точкой эвтектики при температуре 1222 °C и содержанием CuO 2.13 масс. %. Возможность использования SnO[2] с малыми добавками CuO для детектирования серосодержащих газов изучена ранее. B ряде работ обнаружена высокая чувствительность двухфазных керамических образцов SnO[2]+5%CuO к присутствию H[2]S. Однако исследования сенсорных свойств тонких пленок SnO[2]-CuO с высоким содержанием оксида меди в литературе отсутствуют.