Воздействие примесей донорно-акцепторных газов к воздуху на проводимость тонких пленок на основе диоксида олова

Abstract

Пленки диоксида олова с палладием высокой гомогенности получались методом магнетронного распыления на постоянном токе (при давлении аргона в рабочей камере от 0.1 до 2 Па) металлических оловянных мишеней, а также мишеней с добавками металлического палладия. Сенсорные пленки оксида олова SnO[2] и их легированные модификации были получены методом термического окисления металлического слоя. Были получены пленки чистого оксида олова, а также оксида олова с содержанием палладия 0,7% ат., 1% ат., 2% ат., 3% ат.