Особенности получения пленок оксидов Мо методом «напыление – окисление» или химическим наслаиванием

Abstract

Рассмотрены результаты исследований, которые свидетельствуют о том, что для получения пленок оксида молибдена со стехиометрией, близкой к МоО[3] и прозрачностью в видимом диапазоне около 50 % может быть использован либо метод НО при толщине напыляемого металла 100 нм и температуре его окисления 450°С, либо доступный метод ХН с перекисной обработкой при количестве циклов наслаивания 10 и температуре отжига 200°С.