Исследование состава слоев, формируемых на поверхности алюминия, титана и тантала в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов

Abstract

Алюминий, титан и тантал относятся к так называемым вентильным металлам; на их поверхности в атмосфере воздуха образуется оксидная пленка толщиной ~ 10 нм, защищающая металл от коррозии в воздушной среде и в слабоагрессивных средах. Контакт между металлом и оксидной пленкой обладает односторонней проводимостью. Этими же свойствами обладают и сплавы металлов. Вследствие химической инертности эти материалы используются в качестве основы гетерогенных катализаторов. Однако в условиях эксплуатации коррозионной стойкости оксидной пленки зачастую недостаточно. Повышение коррозионной стойкости изделий из сплавов этих металлов, создание активных катализаторов на их основе, а также улучшение механических эксплуатационных свойств материалов может быть достигнуто ионно-лучевым легированием поверхности.