Состав и коррозионные свойства слоев, формируемых в процессах ионно-плазменной обработки поверхности сплавов титана

Abstract

В работе представлены результаты исследований с применением EDX и RBS состава слоев, формируемых на поверхности титановых сплавов в процессах: ионно-плазменного осаждения нитрида хрома и оксикарбида хрома из катодно-дуговой эрозионной плазмы; легирования поверхности посредством ионно-ассистируемого осаждения металлов из плазмы вакуумного дугового разряда; азотирования в плазме тлеющего разряда, возбуждаемого в атмосфере газовой смеси, состоящей из 90% Ar и 10% N[2].