1. Электронная библиотека БГТУ
  2. Публикации ученых БГТУ
  3. Публикации в республиканских изданиях
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.belstu.by/handle/123456789/57040
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorМихалкович, О. М.-
dc.contributor.authorБарайшук, С. М.-
dc.contributor.authorБобрович, Олег Георгиевич-
dc.date.accessioned2023-05-24T05:57:15Z-
dc.date.available2023-05-24T05:57:15Z-
dc.date.issued2022-
dc.identifier.citationМихалкович, О. М. Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта / О. М. Михалкович, С. М. Барайшук, О. Г. Бобрович // Материалы и структуры современной электроники : материалы X Международной научной конференции, Минск, 12-14 октября 2022 г. - Минск : БГУ, 2022. - С. 147-151. - Библиогр.: 5 назв.ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/57040-
dc.description.abstractИзучены морфология и гидрофильность поверхности металлических (Ti и Сo) пленок на кремнии после облучения ионами Xe{+} и на стекле осажденных в условиях ассистирования собственными ионами. Показано, что облучения кремния ионами Xe с энергиями в диапазоне 10-40 кэВ и флюенсе 10{14} см{−2} не вызывает изменения морфологии поверхности. С ростом времени осаждения пленок гидрофильность поверхности стекла снижается.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfru
dc.language.isoruru
dc.subjectсканирующая зондовая микроскопияru
dc.subjectмодификация поверхностных слоевru
dc.subjectионно-лучевое распылениеru
dc.subjectтитанru
dc.subjectкобальтru
dc.subjectкремнийru
dc.subjectгидрофильность поверхностиru
dc.subjectшероховатость поверхностиru
dc.titleМодификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальтаru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udc621.793-
Располагается в коллекциях:Публикации в республиканских изданиях

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Михалкович_Модификация.pdf2.02 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.